1、真空鍍膜技術是一項新興的技術,國際上直到60年代才開始將CVD(化學氣相鍍膜)技術應用到硬質合金工具中。因為這種方法需要在高溫(工藝溫度高于1000ºC)下進行,且涂層類型單一,局限性很大,所以在開發初期還有待改進。
2、離子鍍膜的基本原理:在真空條件下,采用一定的等離子體離子化技術,使鍍層原子部分離子化,同時產生大量高能中性原子,并在鍍層表面施加負偏壓。因此,在深度負偏壓作用下,離子沉積在基體表面形成薄膜。
3、PVD是一種物理氣相沉積法,它分為:真空蒸發法、真空濺射法和真空離子法。PVD鍍膜通常指的是真空離子鍍膜;NCVM鍍膜通常指的是真空蒸發鍍膜和真空濺射鍍膜。
4、真空鍍的基本原理:在真空條件下,金屬、金屬合金等被蒸發蒸發,然后沉積到基體表面,蒸發法通常采用電阻加熱,電子束轟擊鍍料,使其蒸發成氣相,然后沉積到基體表面,PVD法歷史上很早采用真空蒸鍍技術。
5、濺射鍍膜的基本原理:充氬(Ar)氣的真空環境中,當氬(Ar)原子被電離,形成氬離子(Ar)時,氬離子在電場力的作用下,加速轟擊用鍍料制成的陰極靶,靶將濺射出來并沉積在工件表面。濺射膜中的入射離子,一般是通過輝光放電獲得的,在l0-2Pa~10Pa范圍內,因此濺射出的粒子在飛向基體時,容易與空氣中的氣體分子發生碰撞,使其運動方向隨機,沉積的薄膜容易均勻。
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