一、前級泵：

在進行前級泵的選配時，要注意機械泵的泵速是在常壓下測量出來的，而正常使用的泵都是在大氣壓之下工作的，這樣就降低了泵的泵送速度，所以要根據抽速曲線來配置泵。

1、前級泵的配置須遵守的原則：

（1）以滿足主泵進氣口能工作的壓力所需的預抽時間要求為準；

（2）可抽掉主泵產生的氣體的量；

（3）須滿足主泵工作所要求的預真空條件。

 

 

2、不同主泵配置的前級泵不同：

（1）蒸汽流泵前級配置泵。包括擴增泵、油擴散噴射泵、油擴散泵等。 在主泵排氣口的允許壓力下，要求將主泵產生的氣體量排出。

（2）羅茨泵串聯機組。此類前級泵配置方式有兩種類別：一個是羅茨泵加羅茨泵加機械泵；另一個是羅茨泵加羅茨泵加水環泵。不同的兩種方式都是以羅茨泵為主泵，另一羅茨泵為前級泵的配置方式。

（3）其它常見的前級泵配置有：羅茨泵以油封機械泵為前級泵、羅茨泵前級配置水環泵以及渦輪分子泵的前級配置泵等。

 

 

二、主泵：

真空鍍膜的泵組選配時，主泵選擇是一個關鍵點。主泵的選擇不能只追求單一方面的指數，它須根據使用條件考慮多項指標。真空鍍膜機的主泵選擇依據有：

1、通過實際鍍膜生產過程所需的工作壓力進行主泵的選擇：

此要求作為主泵選取的首要要點，由于真空室的工作壓力一定要能夠保證在主泵抽速的壓力范圍中間，因此需要掌握主泵抽速的壓力范圍，而主泵抽速是以工藝生產中放出的氣量、所需工作壓力、系統漏氣量等因素決定。主泵的有效抽速計算涉及到真空室的要求工作壓力以及真空室的總氣量等因素。想要變大主泵的有效抽速就須先變大流導，所以設計連接管道得短且粗，且管道直徑一般要大于主泵入口直徑。

2、空載時，鍍膜真空室所需要達到的極限壓力：

主泵的類型是根據真空室中需要建立的極限壓力來確定的。主泵的極限壓力通常比真空室的極限壓力高，一般是高了0.5-1之間的數量級。

3、不同工藝的鍍膜真空室對油污染要求標準的不同，來選擇無油、半無油或有油真空泵來作為主泵。

4、了解泵送的氣體的類型、組成、溫度、灰塵雜質的氣體等情況，需要慎重選擇主泵。

5、投資預算與運維經濟等預算來選擇。

 

 

三、粗抽泵

由于各種濺射離子泵、低溫泵、低溫吸附泵(不包括分子篩泵)等需在某種預真空狀態下才可以工作。在這種情況下，真空鍍膜設備所需的粗抽泵的抽氣速度不僅受真空容器的容積影響，還受預先設定的預抽時間的影響。