真空鍍膜技術是真空應用技術的一個重要分支，它已較多地應用于光學、電子學、能源開發，理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、表面科學以及科學研究等領域中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相沉積法。如果真空鍍膜的目的是為丁改變物質表面的物理、化學性能，則這一技術又是真空表面處理技術中的重要組成部分。現就其幾個主要府用方面做一簡單介紹。

　　首先在光學方面，一塊光學玻璃或石英表面上鍍一層或幾層不同物質的薄膜后，即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作仟何預期比例的反射或透射材料，也可以做成對某種波長的吸收，而對另一波長的透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各種激光器開始，一直到新型建筑物的大宙鍍膜玻璃，都很需要。增透膜則大量用于照相機和電視攝像機的鏡頭上。在電子學方面真空鍍膜更占有極為重要的地位。各種規模的集成電路，包括存儲器、運算器、高速邏輯元件等都要采用導電膜、絕緣膜和保護膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半導體激光器、約瑟夫遜器件、電荷鋁合器件(CCD)也都用到各種薄膜。在顯示光器件方面，錄像磁頭、高密度錄像帶以及平面顯示裝置的透明導電膜、攝像管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜制備。在元件方面，在真空中蒸發鎳鉻，鉻或金屬陶瓷可以制造電阻，在塑料上蒸發鋁、一氧化硅、二氧化欽等可以制造電容器，蒸發硒可以得到靜電復印機用的硒鼓、蒸發銑酸鋇可以制造磁致伸縮的超聲元件等等。真空蒸發還可以用于制造超導膜和慣性約束聚變反應用的微珠鍍層。此外還可對珠寶、鐘表外殼表面、紡織品金屬花紋、金絲銀絲等蒸鍍裝飾用薄膜，以及用于濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制造超硬膜。近兩年內所興起的多弧離子鍍制備銥金制航，如不銹鋼薄板、鏡面板、僵柱、扶手、樓梯欄桿等白前正在盛行。