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真空鍍膜廠中真空系統的工作原理是什么

發表時間:2019/8/15 10:42:07

是不是覺的知道了真空鍍膜原理就想著回去試試,先不要著急,來看看真空鍍膜中真空系統的工作原理,或許對你更有幫助。

青島真空鍍膜

真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發。


1,粗抽泵(統稱機械泵)他的排氣口,直接排放到大氣,但極限(能力)小。范圍(1E0~大氣壓)。


2,羅茨泵,須在排氣口接一個機械泵,工作范圍(5E-2~1000Pa),如果沒達到工作范圍(1000Pa)以上的真空度,運轉羅茨泵,使負載大,燒壞羅茨泵的。


3,分子泵(油擴散泵):以擴散泵為例,工作范圍(1E-7Pa~5pa),排氣口壓力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于,擴散泵不起作用,還會使擴散泵油氧化。


4,粗抽閥,是機械泵開啟后,開啟粗抽閥。

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