真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發。

1,粗抽泵(統稱機械泵)他的排氣口，直接排放到大氣，但極限(能力)小。范圍(1E0~大氣壓)。

2，羅茨泵，須在排氣口接一個機械泵，工作范圍(5E-2~1000Pa),如果沒達到工作范圍(1000Pa)以上的真空度，運轉羅茨泵，使負載大，燒壞羅茨泵的。

3，分子泵(油擴散泵)：以擴散泵為例，工作范圍(1E-7Pa~5pa)，排氣口壓力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，擴散泵不起作用，還會使擴散泵油氧化。

4，粗抽閥，是機械泵開啟后，開啟粗抽閥。